1. 이 형태는 소규모 및 저급 클린룸 작업장 설계에 널리 사용됩니다. 넓은 면적의 고급 청정 작업장의 경우 운영 비용이 너무 높습니다.공간이 너무 크고 다른 단점이 있습니다.
2.형태의 설계는 집적 회로 제조의 넓은 면적과 높은 수준의 먼지 없는 작업장의 요구 사항을 충족할 수 있지만 운영 비용이 높고 클린룸의 풍속과 풍량을 조정하기가 어렵습니다. 시스템은 업그레이드 및 변형이 어렵기 때문에 운영 유연성이 특별히 높지 않습니다.
3.헤드 순환 시스템은 작업 공간, 청결도, 높은 안전성, 낮은 운영 비용 및 높은 운영 유연성을 절약할 뿐만 아니라 시스템 업그레이드 및 조정을 위해 언제든지 생산 상황에 영향을 주지 않으며 반도체 제조 요구를 잘 충족할 수 있습니다. 따라서 반도체 제조 헤드 순환 시스템은 점차 주요 정화 설계 방식이 됩니다.